ویفر پروسیسنگ کا سامان گرینائٹ بیڈ مختلف قسم کے آپریشنز جیسے میٹرولوجی، معائنہ، لتھوگرافی، اور ویفر بانڈنگ کے لیے استعمال کیا جاتا ہے۔ یہ بستر گرینائٹ مواد پر مشتمل ہیں، جو پائیدار ہیں اور مضبوط میکانکی استحکام رکھتے ہیں۔ ان بیڈز پر کیے گئے آپریشنز کی قطعی نوعیت کی وجہ سے، سازوسامان کی اسمبلی، جانچ اور انشانکن کے دوران اعلیٰ درستگی اور درستگی ضروری ہے۔
اسمبلی
اسمبلی کا عمل شروع کرنے سے پہلے، یہ یقینی بنانا ضروری ہے کہ آلات کے لیے درکار تمام ضروری پرزے دستیاب ہوں۔ ان حصوں میں گرینائٹ بیڈ، ایئر سسپنشن، لیولنگ فٹ، آپٹیکل فلیٹ، اور عین مطابق لگانے والے آلات شامل ہیں۔ حصوں کی تصدیق ہونے کے بعد، اسمبلی کا عمل شروع ہوسکتا ہے.
اسمبلی کے عمل میں پہلا قدم گرینائٹ بیڈ کو ایئر سسپنشن پر لگانا ہے۔ ایئر سسپنشن کسی بھی کمپن کو کم کرنے میں مدد کرتا ہے جو ہو سکتا ہے اور اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ گرینائٹ بیڈ برابر ہے۔ اس کے بعد، برابر کرنے والے پاؤں ایئر سسپنشن کے ساتھ منسلک ہوتے ہیں، جس سے اونچائی اور زاویہ میں ٹھیک ایڈجسٹمنٹ ہو سکتی ہے۔
بستر مکمل طور پر جمع ہونے کے بعد، آپٹیکل فلیٹ گرینائٹ کی سطح پر رکھے جاتے ہیں۔ یہ فلیٹ اس بات کی تصدیق کرنے میں مدد کرتے ہیں کہ گرینائٹ بیڈ فلیٹ اور برابر ہے۔ اگر کوئی ناہموار سطحیں ہیں، تو لیولنگ فٹ کا استعمال کرتے ہوئے ایڈجسٹمنٹ کی جا سکتی ہے۔
ٹیسٹنگ
انشانکن سے پہلے، یہ یقینی بنانے کے لیے جانچ ضروری ہے کہ سامان توقع کے مطابق کارکردگی کا مظاہرہ کر رہا ہے۔ جانچ کے عمل میں کئی مراحل شامل ہیں۔ سب سے پہلے، ایک لیزر انٹرفیرومیٹر کا استعمال گرینائٹ بیڈ کی چپٹی اور ہم آہنگی کا تعین کرنے کے لیے کیا جاتا ہے۔ انٹرفیرومیٹر گرینائٹ کی سطح پر کسی بھی خرابی کا تعین کرتا ہے۔ اگر کوئی انحراف ہے تو، انہیں لیولنگ فٹ کا استعمال کرتے ہوئے درست کیا جاتا ہے۔
مزید برآں، کسی بھی کونیی غلطیوں کی جانچ کرنے کے لیے آٹو کولیمیٹر کا استعمال کیا جا سکتا ہے۔ یہ آلہ ایک حوالہ محور کے خلاف سطح کو چیک کرتا ہے اور کسی بھی انحراف کا پتہ لگاتا ہے۔ کسی بھی زاویہ کی غلطیوں کو بھی لیولنگ فٹ اور دیگر آلات کا استعمال کرتے ہوئے ایڈجسٹ کیا جاتا ہے۔
انشانکن
انشانکن کے عمل کا مقصد سامان کو اس کی مطلوبہ کارکردگی کی تصریحات کے ساتھ سیدھ میں لانا ہے، اور اس میں استعمال سے پہلے آلات کو ایڈجسٹ کرنا اور اس کی تصدیق کرنا شامل ہے۔
انشانکن کے عمل میں لیزر انٹرفیرو میٹرز اور آٹو کولیمیٹرز جیسے عین مطابق لیولنگ آلات کا استعمال شامل ہے تاکہ گرینائٹ بیڈ پر چپٹا پن، متوازی، اور کونیی غلطیوں کی تصدیق کی جا سکے۔ جانچ کے دوران کی گئی کسی بھی ایڈجسٹمنٹ کو درست کیا جاتا ہے۔
مزید برآں، ایئر سسپنشن کو اس بات کو یقینی بنانے کے لیے ایڈجسٹ کیا جاتا ہے کہ گرینائٹ بیڈ اپنے استعمال کے دوران استحکام کو برقرار رکھے۔ انشانکن کے بعد، سامان پروسیسنگ ویفرز میں استعمال کے لیے تیار ہے۔
آخر میں، ویفر پروسیسنگ ایکوئپمنٹ گرینائٹ بیڈ کو اسمبل کرنا، جانچنا اور کیلیبریٹ کرنا ایک اہم عمل ہے جو اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ آپریشنز کے دوران درستگی اور درستگی برقرار رہے۔ اسمبلی کے عمل کو تفصیل پر توجہ دینے کی ضرورت ہوتی ہے، جبکہ جانچ اور انشانکن اس بات کی تصدیق کرنے کے لیے عین آلات کا استعمال کرتے ہیں کہ سامان بہترین کارکردگی پر کام کر رہا ہے۔ مناسب اسمبلی، ٹیسٹنگ اور انشانکن کے ساتھ، ویفر پروسیسنگ کا سامان گرینائٹ بیڈ ویفر پروسیسنگ آپریشنز کے دوران بے عیب کارکردگی کا مظاہرہ کرے گا۔
