سیمی کنڈکٹر لتھوگرافی اور فلیٹ - سے اعلی {{0}- میں اعلی درجے کی آپٹیکل میٹروولوجی کا معائنہ {{3} trionselive سے زیادہ سے زیادہ - موشن سسٹم کی طلب جو سب سے زیادہ -} مائکرون ریپیٹیبلٹی کے ساتھ کام کرتی ہے ، {{5 I}}}} کے قریب ہے۔ روایتی مکینیکل گائیڈ ویز ، یہاں تک کہ وہ سخت اسٹیل یا لکیری موٹرز استعمال کرتے ہیں ، اکثر نانوسکل میں کمپن ، پہننے ، یا تھرمل بڑھے ہوئے کام سے سمجھوتہ کرنے پر کم ہوجاتے ہیں۔ یہ وہ جگہ ہے جہاں گرینائٹ مشین بستروں پر بنے ہوئے X - Y مراحل صرف ایک متبادل متبادل کے طور پر نہیں بلکہ الٹرا - مستحکم پوزیشننگ کے لئے سونے کے معیار کے طور پر ابھرے ہیں۔
بے مثال (جنن) صنعتی کمپنی ، لمیٹڈ میں ، ہم نے قدرتی گرینائٹ اور صحت سے متعلق ہوا - بیئرنگ ٹکنالوجی کے مابین ہم آہنگی میں مہارت حاصل کرنے کے لئے ایک دہائی کے دوران وقف کیا ہے۔ ہماری تازہ ترین نسلسنگل ہوائی جہاز - برداشت x - y مراحلایروسٹٹک گائیڈ ویز کے ساتھ یک سنگی گرینائٹ مکینیکل اجزاء کو انضمام کرتا ہے جس سے پلانر موشن کنٹرول میں جو ممکن ہے اس کی وضاحت کرتا ہے - او ای ایم اور تحقیقی اداروں کو پیش کرنا ایک پلیٹ فارم جو حقیقی 2 ڈی آرتھوگونیٹی ، کم سے کم کراس- جوڑے کی غلطی ، اور لانگ {3-}}- دھات - پر مبنی متبادل۔
لیکن گرینائٹ کیوں؟ اور اس سے کیوں فرق پڑتا ہے کہ آیا آپ کی ہوا - بیئرنگ اسٹیج قدرتی پتھر کے احتیاط سے منتخب کردہ بلاک کے مقابلے میں کاسٹ آئرن بیس پر بیٹھا ہے؟
قدرتی گرینائٹ - خاص طور پر گھنے ، کم - پوروسٹی اقسام جیسے سیاہ ذیابیطس یا گیبرو- جسمانی خصوصیات کا ایک انوکھا مجموعہ ہے ، جو صحت سے متعلق انجینئرنگ کے لئے مثالی بناتا ہے: تھرمل ڈیگری کا ایک انتہائی کم قابلیت (عام طور پر 6–8 اح لاکھوں سالوں میں اس کی کرسٹل لائن ڈھانچے کی وجہ سے عمدہ لمبا - اصطلاح استحکام۔ کاسٹ دھاتوں کے برعکس جو ٹھنڈک یا مشینی سے بقایا دباؤ کو برقرار رکھتے ہیں ، گرینائٹ تناؤ ہے - مفت "جیسا کہ - کان کنی کے طور پر ،" اس کا مطلب ہے کہ یہ بوجھ کے تحت وقت کے ساتھ ہم آہنگ یا رینگ نہیں ہوتا ہے۔ جب ہوا کے لئے گرینائٹ مشین بستر کے طور پر استعمال کیا جاتا ہے {- اثر مراحل کے مراحل ، تو یہ تھرمل طور پر غیر فعال ، کمپن {{13} d نم فاؤنڈیشن فراہم کرتا ہے جو یقینی بناتا ہے کہ ایئر فلم پوری سفری رینج میں مستقل طور پر برقرار رہے {- یہاں تک کہ اعلی - ایکسلریشن چالوں کے دوران بھی۔
ہمارا نقطہ نظر ایک گرینائٹ سلیب پر - - شیلف ایئر بیئرنگ کو صرف اتارنے سے آگے ہے۔ ہم پورے سسٹم کو مکمل طور پر ڈیزائن کرتے ہیں۔ گرینائٹ مکینیکل اجزاء {{4} base بشمول بیس پلیٹیں ، سپورٹ پسلیاں ، اور بڑھتی ہوئی سرفیس - ± 1 µm فلیٹنس کے اندر اور پھر ہاتھ - کو ہوائی فلم کی یکسانیت کے ل mast زیادہ سے زیادہ سطح ختم کرنے کے ل hand زمین کی صحت سے متعلق - ہیں۔ ویکیوم پورٹس ، انکوڈر اسکیل ماونٹس ، اور کیبل مینجمنٹ چینلز جیسی اہم خصوصیات کو من گھڑت کے دوران براہ راست گرینائٹ میں مربوط کیا جاتا ہے ، جس سے پوسٹ - اسمبلی ڈرلنگ کو ختم کیا جاتا ہے جو مائکرو - کریک یا تناؤ کی تعداد کو متعارف کراسکتی ہے۔
ہماری جدید ترین پیشرفتوں میں سے ایک ملٹی - محور کی تشکیل میں گرینائٹ فلوٹیشن اجزاء کا استعمال ہے۔ خود گرینائٹ ڈھانچے کے اندر نیومیٹک یا فعال سطح کے ماڈیولز کو حکمت عملی سے سرایت کرنے سے ، ہم فرش کے لئے حقیقی - وقت کے معاوضے کو قابل بناتے ہیں - حوصلہ افزائی جھکاؤ یا زلزلہ کی خلل- جیسے EUV ماسک معائنہ یا کشش ثقل لہر کا پتہ لگانے والے پروٹوٹائپس جیسے ایپلی کیشنز کے لئے اہم ہے۔ یہ گرینائٹ فلوٹیشن حصے - ons شامل نہیں کرتے ہیں۔ وہ ابتدائی معدنیات سے متعلق - مساوی عمل کے دوران یک سنگی اڈے میں انجنیئر ہیں (حالانکہ گرینائٹ کبھی بھی "کاسٹ" نہیں ہوتا ہے - یہ کٹ ، زمین اور ٹھوس بلاکس سے پالش ہوتا ہے) ، بغیر کسی رکاوٹ کے بوجھ کی منتقلی اور صفر ہائسٹریسیس کو یقینی بناتا ہے۔
ایک معروف یورپی فوٹوونکس کمپنی کے ساتھ حالیہ تعاون سے اس کے اثرات کی وضاحت ہوتی ہے۔ وہ تیز xy- ریزولوشن لیزر اسکیننگ مائکروسکوپ میں تصویری مسخ کے ساتھ جدوجہد کر رہے تھے جس کی وجہ سے تیز رفتار XY کی بحالی کے دوران ٹھیک ٹھیک اسٹیج ووبل کی وجہ سے۔ ان کے موجودہ ایلومینیم - پر مبنی ہوا - بیئرنگ اسٹیج نے 8 گھنٹے کی شفٹ میں 5 µm سے زیادہ کی تھرمل نمو کی نمائش کی۔ ہمارے میں سوئچ کرنے کے بعدسنگل ہوائی جہاز - برداشت x - y اسٹیجمربوط تھرمل شیلڈنگ کے ساتھ 1200 ملی میٹر × 800 ملی میٹر سیاہ گرینائٹ بستر پر سوار ، ان کا نظام حاصل ہوا<0.3 µm positional drift over 12 hours-and eliminated the need for daily recalibration. The client reported a 40% increase in usable measurement uptime.
جو واقعی میں بے مثال سیٹ کرتا ہے وہ ہماری عمودی طور پر مربوط صلاحیت ہے۔ مصدقہ یکجہتی رپورٹس کے ساتھ کچے گرینائٹ بلاکس کو سورس کرنے سے ، - ہاؤس سی این سی پیسنے ، لیپنگ ، اور میٹرولوجی کی توثیق (لیزر انٹرفیومیٹرز اور آٹوکولیمیٹرز کا استعمال کرتے ہوئے NIST معیارات کا پتہ لگاتے ہیں) ، ہم ہر قدم پر قابو رکھتے ہیں۔ ہماری سہولت میں ایشیاء کی سب سے بڑی گرینائٹ پروسیسنگ لائنیں مکمل طور پر صحت سے متعلق موشن پلیٹ فارم کے لئے وقف ہیں ، جس سے ہمیں 0.1 µm RA {-} کی سطح کے ساتھ سطح کی تکمیل کے ساتھ 3 میٹر تک لمبائی میں کسٹم گرینائٹ فلوٹیشن کے اجزاء تیار کرنے میں مدد ملتی ہے جو عام طور پر قومی میٹروولوجی انسٹی ٹیوٹ کے لئے محفوظ ہیں۔
مزید یہ کہ ، ہم تسلیم کرتے ہیں کہ عالمی کلائنٹ کو صرف ہارڈ ویئر {{0} سے زیادہ کی ضرورت ہے} انہیں شراکت کی ضرورت ہے۔ یہی وجہ ہے کہ ہر سسٹم کو مکمل دستاویزات کے ساتھ جہاز بھیجتا ہے: مادی سرٹیفیکیشن ، فلیٹنس نقشے ، موڈل تجزیہ کا ڈیٹا ، اور انسٹالیشن کے رہنما خطوط جو آپ کے کلین روم یا لیب ماحول کے مطابق ہیں۔ آبائی انگریزی - بولنے والے ایپلی کیشن انجینئرز کے ساتھ ، ہم وقت کے زون میں دستیاب ہیں ، ہم پری - سیلز سمولیشن سپورٹ فراہم کرتے ہیں (جس میں متحرک لوڈنگ کے منظرناموں کے لئے FEA بھی شامل ہے) اور پوسٹ - ریموٹ اے آر ٹولز کے ذریعہ یا - سائٹ کے دوروں کے ذریعہ ڈلیوری کمیشن کمیشن کی فراہمی۔
یہ بات قابل غور ہے کہ جب گرینائٹ قدیم ہے ، ہمارا نفاذ مکمل طور پر جدید ہے۔ ہم نے ہائبرڈ آرکیٹیکچر تیار کیے ہیں جو گرینائٹ اڈوں کو کاربن - فائبر - پرکشش پولیمر (CFRP) کے ساتھ جوڑتے ہیں جو پلوں کو سختی کے بغیر بڑے پیمانے پر کم کرنے کے ل moving چلتے ہوئے پلوں کو منتقل کرتے ہیں۔ پھر بھی بنیادی اصول باقی ہے: حوالہ طیارہ اتنا ہی مستحکم ہونا چاہئے جتنا فطرت کی اجازت دیتا ہے۔ اور ابھی کے لئے ، حریفوں نے قدرتی گرینائٹ کو صحیح طریقے سے منتخب اور اس پر کارروائی نہیں کی۔
ماحولیاتی تحفظات بھی ایک کردار ادا کرتے ہیں۔ توانائی - گہری دھات کی معدنیات سے متعلق یا جامع کیورنگ کے عمل کے برعکس ، گرینائٹ کو صرف - کوئی اعلی - درجہ حرارت کی بھٹی ، کوئی کیمیائی بائنڈر ، کوئی VOC اخراج نہیں ہوتا ہے۔ ہمارا پانی - ری سائیکلنگ پیسنے کے نظام اور صفر - فضلہ پتھر آف کٹ ریپروپوزنگ پروگرام EU ایکوڈسائن ہدایت نامہ اور امریکی وفاقی استحکام کی خریداری کے رہنما خطوط کے ساتھ منسلک ہے۔
تو ، ہیںسنگل ہوائی جہاز - برداشت x - y مراحلگرینائٹ مشین بستر پر نینوومیٹر - سطح کی تحریک کے لئے حتمی حل؟ ان ایپلی کیشنز کے لئے جہاں ہر نینوومیٹر کا شمار - جہاں تھرمل شور ، مکینیکل ہائسٹریسیس ، یا فرش کمپن نتائج -} جواب میں تیزی سے ہاں میں ہے۔ اور جب وہ مراحل مقصد - انجنیئر گرینائٹ مکینیکل اجزاء کے ساتھ بنائے جاتے ہیں ، جو ذہین گرینائٹ فلوٹیشن حصوں کے ذریعہ بہتر ہوتے ہیں ، اور سخت کوالٹی سسٹم کی حمایت کرتے ہیں تو ، کارکردگی کی چھلانگ ناقابل تردید ہوجاتی ہے۔
بے مثال® میں ، ہم رجحانات کا پیچھا نہیں کرتے ہیں - ہم بنیادیں بناتے ہیں۔ لفظی. چاہے آپ اگلا - جنریشن سیمیکمڈکٹر میٹرولوجی ٹولز ، کوانٹم کمپیوٹنگ ٹیسٹ رگس ، یا ایرو اسپیس - گریڈ آپٹیکل سیدھ کے نظام تیار کررہے ہیں ، ہمارے گرینائٹ - پر مبنی موشن پلیٹ فارم پریسٹ استحکام کی پیش کش کرتے ہیں جس سے پہلے کا مطالبہ ہوتا ہے۔